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序号
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仪器名称/型号
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技术指标
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制造厂名
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检测参数
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1
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NIC-170SXFT-IR付里叶变换红外光谱仪（带红外显微镜）
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波长范围：0.4-1000µm
精度：0.01cm-1
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美国
NICOLET
公司
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电子材料的杂质、缺陷及有机物成份分析
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2
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Carry5000紫外可见近红外分光光度计
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波长范围：175-3300nm
精度：紫外可见：≤±0.08nm
近红外: ≤±0.4nm
重复性: ≤±0.005nm
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美国
瓦里安公司
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同上
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3
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3110原子吸收分光仪
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钾钠检出限：PPT级
铅铜检出限：PPT级
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美国
PE公司
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电子材料微量杂质分析
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4
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Clarus 600 气相色谱/质谱联用仪
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测量范围：（1.0-1200）amu
质量稳定性：±0.1amu
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美国PE公司
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有机物分析
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5
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725电感藕合等离子体光谱仪
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检测限：PPB量级
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美国
瓦里安公司
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电子材料主、次成份及痕量杂质分析
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6
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820电感藕合等离子体质谱仪
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检测限：PPT量级
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美国
瓦里安公司
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电子材料主、次成份及痕量杂质分析
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7
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H-700H
高压电子显微镜
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加速电压：75；100；150；
175；200（KV）；
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日本
日立公司
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电子材料结构、缺陷分析
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8
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S-200
扫描电子显微镜
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分析元素范围：
11(Na)-92(U)
灵敏度可达10-4
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英国
剑桥公司
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电子材料表面形貌及成份微区分析、失效分析
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9
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Leitz金相显微镜
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放大倍数：1000Χ
分辨率：200.0nm
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德国
Leitz 公司
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电子材料金相分析及其他结构缺陷分析
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10
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PW1404X射线荧光仪
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浓度范围:从主元素到50PPM杂质元素
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荷兰
菲利浦公司
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电子材料主、次成份定量分析
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11
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DMAX/RC X射线衍射仪
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测角仪精度:0.002
双晶衍射系统:
△d/d=10-5-10-7
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日本
理学珠式会社
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电子材料定性定量相分析、晶格常数、晶向、失配度缺陷、应力织构分析
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12
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PHI15300X
光电子能谱
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分辨率:0.8-1.4ev
灵敏度:80K-1600KCPS
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美国
PE公司
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电子材料表面界面半定量分析及化学形态分析
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