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序号
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仪器名称/型号
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技术指标
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制造厂名
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检测参数
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13
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PHI4300
俄歇电子能谱仪
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最小束斑直径:φ>5.0nm,信噪比S/N≥70.1
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美国
PE公司
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电子材料表面界面元素形貌二维及三维分析
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14
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IMS-4FSIMS
二次离子质谱仪
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质量分辨率：
M/△M=10000,
元素检测极限：10-9
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法国
CAMECA
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电子材料表面界面元素成份及杂质的二维及三维分析
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15
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MI-401
深能级瞬态谱仪
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检测电容范围：0.1-200PF,
灵敏度：1011/cm3
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日本
三和无线测器研究所
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半导体深能级分析
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16
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光激电流谱测试系统
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检测深能级范围：
0.3-1.6ev,精度:±0.01
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组装
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SI-GaAs材料和MESFET器件深能级参数测量
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17
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霍
尔测
试
系
统
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2182A数字电压表
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测量范围：10mV-100V
准确度：
1.5×10-5
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美国
Keithley公司
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测量半导体材料的电阻率,载流子浓度,迁移率,杂质缺陷,中心能级位置,补偿度,导电机构分析等
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220恒流表
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测量范围：100mA-1nA
精度：
0.1%+50μA-0.4%+2PA
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恒压表
230
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测量范围：100V-100mV
精度：
0.05%+50mV-0.75%+300
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6517静电计
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测量范围:2mV-200V
精度:±（1%rdg+counts）
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5200
霍尔磁强计
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测量范围:200mT-20T
精度:0.3%(满程)
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18
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闭环氦致冷系统
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温度范围:3.6-300K
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美国
APD公司
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提供低温
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19
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HZ-251高阻表
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测量范围:0.200MG-199×1014Ω
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北京
瑞普仪器厂
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电子材料绝缘及电学性能测试
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20
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HZ-252微欧表
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测量范围：1µΩ-2kΩ
分辨率：1µΩ
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21
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YG001A纤维电子强力仪
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测量范围:0-100cN
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太仓纺织机械厂
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键合金丝和其它细丝的抗拉强度及延伸率的测量
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22
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WK4210自动LCR测试仪
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测量范围及精度:
500V以上, 2μf
50V以上, 2mf
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天津无线电六厂
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