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| 性能特点：比普通的钨灯丝扫描电子显微镜拥有更高的分辨率和放大倍数：二次电子像分辨率1.4nm，放大倍数可从20×到800，000×连续可调；低真空模式可以减轻荷电，不导电样品可不必喷镀导电层而直接观测；大样品室，对较大样品可做到无损检测； X射线能谱仪附件，可同时对样品成分进行定性和定量分析、线扫描、面扫描以及成分像。 |
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应用：金属材料 、建筑材料、陶瓷材料 电子材料、纳米材料、粉末样品、生物样品、光纤、塑料、橡胶等各种样品的形貌和成分分析以及集成电路电子元器件金属器件等各种失效分析。 |
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| 性能特点：测量范围广——负荷：小至1N，最大可达300KN 位移速率：0.001～500mm/min. 测量精度高——负荷精度：示值的±1% 位移精度：示值的±0.5% 位移速率精度：示值的±0.2% 力控速率精度：示值的±1% 控制方式多——力控制 位移控制 变形控制 应力控制 应变控制 实验过程控制、数据采集、结果计算都由电脑完成。 |
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| 性能参数： 1. 全元素分析（H—U） 2. 同位素分析（所有元素） 3. 高灵敏度（优于1ppm，多数元素可达1ppb 4. 深度剖析（深度分辨率可达2nm） 5. 二次离子图像分析（分辨率优于1μm |
